ОКР «Разработка кластерной линии фотолитографии для обработки слоёв фоторезиста в субмикронной DUV литографии при изготовлении СБИС на пластинах диаметром 200 мм», шифр «Трек-200» (Ausschreibung №133034626de)

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Land: Russian Federation
Sprache: RU
Kunde:
Nummer: 133034626
Veröffentlichungsdatum: 25-11-2025
Erster Preis des Vertrags: 47 805 767 (EUR)
Ursprünglicher Betrag: 2 821 900 000 (RUB)

Quelle:
Ende der Bewerbung durch: 3 Tage

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ОКР «Разработка промышленно-ориентированного кластерного комплекса нанесения слоев алюминиевой металлизации методом PVD», шифр «Карман-АЛ» Quelle: zakupki.gov.ru

ОКР «Разработка автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150, 200 мм», шифр «Лучник» Quelle: zakupki.gov.ru

ОКР «Разработка установки лазерного отжига пластин кремния», шифр «Виридис» Quelle: zakupki.gov.ru

ОКР «Разработка и изготовление опытных образцов вертикальных диффузионных печей для высокотемпературной обработки кремниевых пластин до 200 мм, обеспечения базовых технологических процессов изделий по КМОП-технологиям с проектными нормами 180-90 нм», шифр «Термика» Quelle: zakupki.gov.ru

ОКР «Разработка и постановка на производство комплектующих на основе графита для установок эпитаксиального и кристального производств», шифр «Атлант» Quelle: zakupki.gov.ru

ОКР «Разработка установки автоматической разбраковки кристаллов», шифр «Сортер» Quelle: zakupki.gov.ru